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超纯水又称UP水这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水可以用于超纯材料应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程

蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得