湿度是指气体总水蒸气的含量。根据DL/T 596规程规定，湿度应按《工业六氟化硫》、《六氟化硫气体中水分含量测定法(电解法)》和《现场SF6气体水分测定方法》(DL506-1992)进行测量。其测量方法有重量法、电解法、露点法、电容法、压电石英振荡法、吸附量热法和气相色谱法等，其中重量法师国际电工委员会(IEC)推荐的方法，而电解法和露点法为现场常用的测量方法。
SF6气体无嗅、无味、五毒、无色，化学性质稳定，绝缘于灭弧特性极好的介质。但含有较多水分时，其特性改变。
目前，根据电解法原理制作的SF6湿度测量仪应用相当普遍。电解法的原理是:将被试的SF6气体导入电解池，气样中的水分即被吸收并电解，由电解水分所需电量与水分之间的关系，求出SF6气样中的水分含量。
露点法就是通过测量SF6气体的露点来确定SF6气体的含水量。露点可用HDWS-242 SF6露点测试仪进行测量。
(2)仪器的排气管应用乳胶管引至仪器10M意外的低洼处，人和仪器应处在上风位置。
(4)使用完毕后，取样接头、导气管和流量计应放在干燥器内。运输至现场时，应将其放置在气密性好，内放有干燥剂的塑料袋内，以防受潮和玷污。
(5)测量管路用不锈钢管或聚四氟乙烯管，长度一般在2m左右，内径2~3mm。接头要求用金属材料，内垫用金属垫片或聚四氟乙烯垫片或其他憎水型材料。
(7)当测量结果接近设备中SF6气体的水分允许含量标准的临界值时，至少应该复测一次。
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